APPLICATION AREA
첨단 산업의 핵심 공정,
첨단 산업의 핵심 공정,
태경테크노가 함께합니다
보이지 않는 진공의 세계에서 완벽한 기밀성과 제어 기술로 산업의 수율을 결정짓습니다.
SEMICONDUCTOR FAB
01
반도체 전공정 솔루션
나노 단위의 초미세 공정이 진행되는 CVD, Etch, PVD 장비 내부에서는 초고진공(UHV) 상태의 완벽한 유지가 필수적입니다. 태경테크노의 밸브는 극한의 가스 환경에서도 파티클 발생을 최소화하여 생산 수율을 극대화합니다.
ANGLE VALVE
ANGLE VALVE
OLED DEPOSITION LINE
02
디스플레이 증착 솔루션
OLED 증착 공정과 초대형 패널 이송 라인에서는 대구경 챔버 간의 정밀한 기밀 유지가 핵심입니다. 안정적인 구동 메커니즘을 갖춘 대구경 게이트 밸브를 통해 대형 패널 공정의 연속성과 품질을 보장합니다.
GATE VALVE
GATE VALVE
BATTERY DRYING PROCESS
03
이차전지 특수 공정 솔루션
이차전지 진공 건조 공정은 전해액 잔류물과 고온 환경에 노출되어 있습니다. 태경테크노는 내식성 및 내열성이 강화된 특수 밸브 솔루션을 공급하여 가혹한 환경에서도 장비의 장기적 신뢰성을 확보합니다.
GATE VALVE
GATE VALVE